Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 603: Conception et caractéristiques des instruments sans contact (à interférométrie à glissement de franges)

Le présent document spécifie la conception et les caractéristiques métrologiques des instruments à interférométrie à glissement de franges (PSI) pour le mesurage surfacique de la topographie de surface. Comme les profils de surface peuvent être extraits des données de topographie de surface surfacique, les méthodes décrites dans le présent document s'appliquent également aux mesurages de profil.