Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 604: Conception et caractéristiques des instruments sans contact (à interférométrie par balayage à cohérence)

Le présent document spécifie la conception et les caractéristiques métrologiques des instruments d'interférométrie par balayage à cohérence (CSI) pour le mesurage surfacique de la topographie de surface. Puisque les profils de surface peuvent être extraits des données de topographie de surface, les méthodes décrites dans le présent document s'appliquent également aux mesurages de profil.