Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique analytique — Vocabulaire
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L'ISO 15932:2013 définit les termes utilisés dans les applications de la microscopie électronique analytique (MEA). Elle couvre à la fois des concepts généraux et des concepts spécifiques, classés selon le rang hiérarchique qu'ils occupent dans un ordre systématique.
L'ISO 15932:2013 s'applique à tous les documents de normalisation relatifs à la pratique de la MEA. En outre, certaines parties de l'ISO 15932:2013 sont applicables aux documents relatifs à la pratique de techniques apparentées (par exemple MET, MEBT, MEB, EPMA, EDX) pour la définition des termes communs à ces techniques.