Ellipsométrie — Principes
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Le présent document spécifie une méthode de détermination des constantes optiques et diélectriques dans la gamme spectrale UV-VIS-PIR ainsi que des épaisseurs de couche dans le domaine du contrôle de production sur ligne, de l’assurance qualité et de la mise au point de matériau par des laboratoires d’essai accrédités.
Il s’applique aux systèmes de mesure indépendants. La présentation de l’incertitude des résultats est conforme à l’ISO/IEC Guide 98-3.