Revêtements obtenus par dépôt physique en phase vapeur — Dépôt de couches minces de TiAlSiN par pulvérisation cathodique magnétron — Spécification
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Reference:
ISO 25164:2026
Publication Year:
2026
Domain:
Le présent document spécifie les exigences techniques relatives aux couches minces de TiAlSiN déposées par pulvérisation cathodique par magnétron.
Le présent document s'applique également au dépôt de couches minces de TiN, TiAlN ou TiSiN.
26 500 F CFA





















